Создан новый источник излучения в экстремальном ультрафиолете
В НИУ "МЭИ" отметили, он имеет повышенный КПД по сравнению с существующими источниками ЭУФ-излучения
В НИУ "МЭИ" отметили, он имеет повышенный КПД по сравнению с существующими источниками ЭУФ-излучения