Công nghệ laser mới mở đường cho thế hệ quang khắc 'vượt EUV' 06.01.2025 10:00 Vnexpress.net Laser Thulium đạt hiệu quả gấp 10 lần so với laser CO2 trên máy quang khắc EUV hiện tại, có thể thay thế trong tương lai gần.
