Направляемая самосборка (DSA): не взамен EUV, но очень кстати
Серийно получать полупроводниковые структуры с минимальными характерными размерами отдельных элементов в десяток нанометров, а то и меньше, можно не только с применением одной лишь экстремальной ультрафиолетовой фотолитографии (EUV)