Иммерсионный сканер Nikon NSR-S636E ArF

На этой неделе компания Nikon объявила о разработке своего нового иммерсионного сканера NSR-S636E ArF, который предоставит ведущие в отрасли решения для литографии и позволит клиентам продвигать производство полупроводников и способствовать цифровой трансформации.



Новое поколение иммерсионных сканеров NSR-S636E ArF в настоящее время находится в стадии разработки и обеспечит превосходную точность наложения и сверхвысокую пропускную способность для поддержки производства наиболее важных полупроводниковых устройств. Ожидается, что продажи начнутся где-то в 2023 году. NSR-S636E имеет усовершенствованную встроенную станцию ​​выравнивания или iAS, которая представляет собой модуль предварительного измерения пластины, интег