В России разработают безмасочный фотолитографический сканер — у этой установки не будет аналогов в мире
![В России разработают безмасочный фотолитографический сканер — у этой установки не будет аналогов в мире](https://3dnews.ru/assets/external/illustrations/2022/03/31/1063146/lazer_00.jpg)
Московский институт электронной техники (МИЭТ) заключил с Минпромторгом контракт стоимостью 670 млн рублей на разработку концепции безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника». Аналогов этой установке в мире нет, зато задел для создания её есть и создан он в России несколько лет назад. Роль фотошаблона у такого сканера будет играть массив микрозеркал на основе матриц МЭМС, а детализация достигнет 28 нм и меньше. Схема установки безмасочной рентгеновской литографии с управлением коэффициентом отражения рентгеновского излучения. Источник изображения: Журнал «Стимул»