Applied Materials придумала травление под углом: тонкие техпроцессы с EUV-литографией станут проще

Компания Applied Materials представила установку Centura Sculpta для уникальной обработки кремниевых пластин. За счёт направления реагентов травления под углом открылась возможность более плотного изготовления элементов на пластинах без двойной экспозиции. Это поможет заметно удешевить процесс изготовления транзисторов с использованием EUV-литографии за счёт экономии времени, материалов и благодаря снижению уровня брака. Источник изображения: Applied Materials