В России будут выпускать чипы по технологии 20-летней давности
В России разработаны уникальные кластерные системы для плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ), предназначенные для производства интегральных микросхем с нормами 65 нм. Проект реализован научными институтами НИИМЭ и НИИТМ…