Минпромторг сообщил о первом отечественном оборудовании для производства микрочипов

BFM.ru 
Вакуумная установка способна обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 300 миллиметров и создавать электронные компоненты с проектными нормами до 65 нанометров

Читайте на сайте