SMIC N+3 без EUV: подробности производства Huawei Kirin 9030

Компания TechInsights , специализирующаяся на технологическом анализе микросхем, опубликовала результаты исследования процессора Huawei Kirin 9030. Из-за экспортных ограничений Huawei размещает производство не у TSMC, а на мощностях частично государственного китайского производителя Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC). Самый передовой техпроцесс, доступный компании, относится к классу 5 нм и обозначается как SMIC N+3.

По тем же причинам SMIC вынуждена использовать исключительно глубокую ультрафиолетовую литографию (DUV) и не может применять EUV, которая для ряда слоев современных высокопроизводительных чипов уже стала фактически обязательной. TechInsights подтверждает, что техпроцесс N+3, несмотря на высокий уровень инженерной реализации, сталкивается с серьезными проблемами по выходу годных кристаллов. В результате производство Kirin 9030, вероятно, оказывается экономически неэффективным.

Ключевую роль здесь играют сложные схемы многократного паттернинга, в частности self-aligned quadruple patterning (SAQP). В этом процессе используют спейсеры, которые формируются в ...